Cuprins:
Definiție - Ce înseamnă Nanolitografia?
Nanolitografia este o ramură a nanotehnologiei și denumirea procesului de imprimare, scriere sau gravură a modelelor la nivel microscopic pentru a crea structuri incredibil de mici. Acest proces este de obicei utilizat pentru crearea dispozitivelor electronice mai mici și mai rapide, cum ar fi micro / nanochipuri și procesoare. Nanolitografia este utilizată în principal în diferite sectoare ale tehnologiei, de la electronic la biomedical.Techopedia explică nanolitografia
Nanolitografia este un termen larg utilizat pentru a descrie diferite procese pentru crearea de tipare la nano-scală pe diferite suporturi, dintre care cel mai frecvent este siliconul material semiconductor. Scopul predominant al nanolitografiei este micșorarea dispozitivelor electronice, care permite ca mai multe piese electronice să fie înghesuite în spații mai mici, adică circuite integrate mai mici care au ca rezultat dispozitive mai mici, care sunt mai rapide și mai ieftine de fabricat, deoarece sunt necesare mai puține materiale. Aceasta crește, de asemenea, performanța și timpul de răspuns, deoarece electronii trebuie să parcurgă distanțe foarte scurte.
Unele tehnici utilizate în nanolitografie sunt următoarele:
- Litografia cu raze X - implementată printr-o abordare de tipărire de proximitate și se bazează pe radiografii de câmp aproape în difracția Fresnel. Se știe că își extinde rezoluția optică la 15 nm.
- Modelare dublă - O metodă folosită pentru a crește rezoluția tonului unui proces litografic prin imprimarea unor modele suplimentare între spațiile modelelor deja tipărite în același strat.
- Litografie cu scriere directă cu fascicul de electroni (EBDW) - Cel mai comun proces utilizat în litografie, care folosește un fascicul de electroni pentru a crea tipare.
- Litografie ultravioletă extremă (EUV) - O formă de litografie optică care folosește lungimi de undă ușoare cu ultrasunete de 13, 5 nm.
